當(dāng)前位置：HORIBA-堀場（中國）貿(mào)易有限公司>>產(chǎn)品展示>>半導(dǎo)體制程監(jiān)控
實時膜厚檢測儀DIGILEM-CPM-Xe/Halogen它是干涉測量設(shè)備，提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測。單色光打在樣品表面，由于膜厚和高度...
EV-140C等離子發(fā)光分析終點檢測儀這是一套分析放射性發(fā)光的終點監(jiān)測設(shè)備，專為以等離子技術(shù)為基礎(chǔ)的半導(dǎo)體薄膜制程進行終點檢定或等離子條件的監(jiān)控而研制。的數(shù)學(xué)模...
小型工藝氣體分析儀MICROPOLE系統(tǒng)是一種目前市面上zui小的質(zhì)量能譜儀分析系統(tǒng)。通過享有的小型化設(shè)計將四電極質(zhì)量過濾器進行排列，從而獲得了*的緊湊尺寸。
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